臭氧浓度检测方法大致可分为化学分析法（碘量法）、物理化学分析法（比色法）和物理分析法（紫外分光光度法）三类。
其原理是强氧化剂臭氧与碘化钾（KI）水溶液反应生成游离碘（I2）。臭氧还原为氧气。
游离碘显色，其在水中浓度由低至高呈浅黄至深红色。利用硫代硫酸钠标准溶液滴定，游离碘变为碘化钠（NaI），反应终点为完全褪色。
两反应建立起O3反应量与Na2S2O3消耗量的定量关系，根据消耗硫代硫酸钠标准溶液的体积可以计算臭氧浓度。
其原理是根据臭氧与二己基对苯二胺（DPD）反应显色或靛蓝染料脱色反应程度来确定臭氧浓度的方法，多用于检查水溶解臭氧浓度。
其原理是利用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，用紫外分光光度计，选择合适长度的吸收池，依据朗伯-比尔定律（Lambert-Beer law）进行定量检测。
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