在线TOC分析仪在电子行业（单晶硅）冲洗水TOC检测的应用

电子芯片清洗对其用水要求极为严格，如果冲洗水的杂质过多，某些元素超标的话，会对企业的生产运行产生隐患。因此，对于这些指标进行监测就是工厂在日常运行当中必须要进行的重要工作，而这其中，TOC就是一项重要的指标。

TOC(总有机碳)指的是水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。对于电子行业来说，冲洗水中含有超标的TOC可能使工厂面临巨大的风险损失，例如有机物的碳化沉积和腐蚀性引起芯片、电子元件和晶元的缺陷等。

电子级水TOC标准

我国的国家标准《GB/T 11446.1-2013电子级水》中对TOC(总有机碳)的含量做出了明确的规定。

电子级水：电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

分类：电子级水分为4个类别，Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

TOC(总有机碳)的含量：

Ⅰ级≤20ug/L；

Ⅱ级≤100ug/L；

Ⅲ级≤200ug/L；

Ⅳ级≤1000ug/L。

Bebur(巴贝尔)在线TOC分析仪

Bebur(巴贝尔)在线TOC分析仪采用UV法(紫外光谱)原理检测水中的TOC数值，无需化学试剂，无需取样或预处理系统，可以减少用户现场维护量。

在线TOC分析仪在电子行业（单晶硅）冲洗水TOC检测的应用